VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.
Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting kepada pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.
Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.
Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.
Sifat fizikal asas salutan SiC CVD | |
Harta benda | Nilai Biasa |
Struktur Kristal | polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111). |
Ketumpatan | 3.21 g/cm³ |
Kekerasan | 2500 Vickers kekerasan(500g beban) |
Saiz Bijirin | 2~10μm |
Ketulenan Kimia | 99.99995% |
Kapasiti Haba | 640 J·kg-1·K-1 |
Suhu Sublimasi | 2700 ℃ |
Kekuatan lentur | 415 MPa RT 4 mata |
Modulus Muda | 430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃ |
Kekonduksian Terma | 300W·m-1·K-1 |
Pengembangan Terma(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor ialah pengeluar produk, inovator dan peneraju produk LPE Halfmoon SiC EPI Reactor profesional di China. LPE Halfmoon SiC EPI Reactor ialah peranti yang direka khusus untuk menghasilkan lapisan epitaxial silikon karbida (SiC) berkualiti tinggi, terutamanya digunakan dalam industri semikonduktor. VeTek Semiconductor komited untuk menyediakan teknologi terkemuka dan penyelesaian produk untuk industri semikonduktor, dan mengalu-alukan pertanyaan lanjut anda.
Baca LagiHantar PertanyaanSebagai pengilang dan pembekal Susceptor Aixtron MOCVD profesional di China, Susceptor Aixtron MOCVD Vetek Semiconductor digunakan secara meluas dalam proses pemendapan filem nipis pengeluaran semikonduktor, terutamanya yang melibatkan proses MOCVD. Vetek Semiconductor memberi tumpuan kepada pembuatan dan membekalkan produk Aixtron MOCVD Susceptor berprestasi tinggi. Mengalu-alukan pertanyaan anda.
Baca LagiHantar PertanyaanSebagai pengeluar dan pembekal pemanas grafit salutan seramik silikon karbida profesional di China, Pemanas grafit salutan seramik silikon karbida adalah pemanas berprestasi tinggi yang diperbuat daripada substrat grafit dan disalut dengan salutan seramik karbon silikon (SiC) pada permukaannya. Dengan reka bentuk bahan kompositnya, produk ini menyediakan penyelesaian pemanasan yang sangat baik dalam pembuatan semikonduktor. Mengalu-alukan pertanyaan anda.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah pengeluar pemanas salutan seramik silikon karbida profesional di China. Pemanas salutan seramik silikon karbida direka terutamanya untuk suhu tinggi dan persekitaran yang keras pembuatan semikonduktor. Takat leburnya yang sangat tinggi, rintangan kakisan yang sangat baik dan kekonduksian terma yang cemerlang menentukan keperluan produk ini dalam proses pengeluaran semikonduktor. Kami amat berharap untuk mewujudkan hubungan perniagaan jangka panjang dengan anda.
Baca LagiHantar PertanyaanSebagai pengilang dan pembekal Salutan Seramik Silikon Karbida profesional di China, Salutan Seramik Silikon Karbida Vetek Semiconductor digunakan secara meluas pada komponen utama peralatan pembuatan semikonduktor, terutamanya apabila proses CVD dan PECVD terlibat. Mengalu-alukan pertanyaan anda.
Baca LagiHantar PertanyaanSusceptor EPI VeTek Semiconductor direka untuk aplikasi peralatan epitaxial yang menuntut. Struktur grafit bersalut silikon karbida (SiC) ketulenan tingginya menawarkan rintangan haba yang sangat baik, keseragaman terma seragam untuk ketebalan dan rintangan lapisan epitaxial yang konsisten, dan rintangan kimia yang tahan lama. Kami berharap dapat bekerjasama dengan anda.
Baca LagiHantar Pertanyaan