Semikonduktor VeTek ialah pengeluar terkemuka bahan Salutan Tantalum Carbide untuk industri semikonduktor. Tawaran produk utama kami termasuk bahagian salutan tantalum karbida CVD, bahagian salutan TaC tersinter untuk pertumbuhan kristal SiC atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor mempunyai kawalan yang baik terhadap kualiti. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Salutan Karbida Tantalum melalui penyelidikan dan pembangunan teknologi lelaran yang berterusan.
Produk utama ialahCincin pembelot salutan Tantalum Carbide, cincin lencongan bersalut TaC, bahagian halfmoon bersalut TaC, Cakera Putaran Planet Bersalut Tantalum Carbide (Aixtron G10) , Crucible Bersalut TaC; Cincin Bersalut TaC; Grafit Berliang Bersalut TaC; Susceptor Grafit Salutan Tantalum Carbide; Cincin Panduan Bersalut TaC; Plat Bersalut TaC Tantalum Carbide; Susceptor Wafer Bersalut TaC; Cincin Salutan TaC; Penutup Grafit Salutan TaC; Ketulan Bersalut TaCdan lain-lain, ketulenan di bawah 5ppm, boleh memenuhi keperluan pelanggan.
Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari. Kelebihan ditunjukkan dalam gambar di bawah:
Salutan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian kerana takat leburnya yang tinggi sehingga 3880°C, kekuatan mekanikal yang sangat baik, kekerasan, dan rintangan kepada kejutan haba, menjadikannya alternatif yang menarik kepada proses epitaksi semikonduktor kompaun dengan keperluan suhu yang lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ia juga mempunyai aplikasi yang luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC kaedah PVT.
●Kestabilan suhu
●Ketulenan ultra tinggi
●Rintangan kepada H2, NH3, SiH4, Si
●Rintangan kepada stok haba
●Lekatan yang kuat pada grafit
●Liputan salutan selaras
● Saiz sehingga 750 mm diameter (Satu-satunya pengeluar di China mencapai saiz ini)
● Suseptor pemanasan induktif
● Elemen pemanasan rintangan
● Perisai haba
Sifat fizikal salutan TaC | |
Ketumpatan | 14.3 (g/cm³) |
Pemancaran khusus | 0.3 |
Pekali pengembangan terma | 6.3 10-6/K |
Kekerasan (HK) | 2000 HK |
Rintangan | 1×10-5Ohm*cm |
Kestabilan terma | <2500 ℃ |
Perubahan saiz grafit | -10~-20um |
Ketebalan salutan | ≥20um nilai biasa (35um±10um) |
unsur | Peratus atom | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Purata | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Plat Putaran Salutan TaC Semikonduktor VeTek mempunyai salutan TaC yang luar biasa, Dengan salutan TaC yang luar biasa, Plat Putaran Salutan TaC mempunyai rintangan suhu tinggi yang luar biasa dan lengai kimia, yang membezakannya daripada penyelesaian tradisional. Kami komited untuk menyediakan produk berkualiti pada daya saing. harga dan berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanPlat Salutan TaC Semiconductor VeTek ialah produk luar biasa yang menawarkan ciri dan kelebihan luar biasa. Direka dengan ketepatan dan direka bentuk untuk kesempurnaan, Plat Salutan TaC kami disesuaikan secara khusus untuk pelbagai aplikasi dalam proses pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida (SiC). Dimensi tepat Plat Salutan TaC dan pembinaan teguh memudahkan untuk disepadukan ke dalam sistem sedia ada, memastikan keserasian yang lancar dan operasi yang cekap. Prestasi yang boleh dipercayai dan salutan berkualiti tinggi menyumbang kepada keputusan yang konsisten dan seragam dalam aplikasi pertumbuhan kristal SiC. Kami komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif dan berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanPenutup salutan CVD TaC yang disediakan oleh VeTek Semiconductor ialah komponen yang sangat khusus yang direka khusus untuk aplikasi yang menuntut. Dengan ciri-ciri canggih dan prestasi yang luar biasa, penutup salutan CVD TaC kami menawarkan beberapa kelebihan utama. Penutup salutan CVD TaC kami menyediakan perlindungan dan prestasi yang diperlukan untuk kejayaan. Kami berharap untuk meneroka potensi kerjasama dengan anda!
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor ialah produk yang luar biasa untuk peralatan epitaksi Aixtron. Salutan TaC yang teguh memberikan rintangan suhu tinggi yang sangat baik dan lengai kimia. Gabungan unik ini memastikan prestasi yang boleh dipercayai dan hayat perkhidmatan yang panjang, walaupun dalam persekitaran yang mencabar. VeTek komited untuk menyediakan produk berkualiti tinggi dan berkhidmat sebagai rakan kongsi jangka panjang dalam pasaran China dengan harga yang kompetitif.
Baca LagiHantar PertanyaanPlat Sokongan Alas Salutan TaC Semikonduktor VeTek ialah produk ketepatan tinggi yang direka bentuk untuk memenuhi keperluan khusus proses epitaksi semikonduktor. Dengan salutan TaC, rintangan suhu tinggi, dan kelonggaran kimia, produk kami memperkasakan anda untuk menghasilkan lapisan EPI berkualiti tinggi dengan kualiti tinggi. Kami komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif dan berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanChuck Salutan TaC Semikonduktor VeTek menampilkan salutan TaC berkualiti tinggi, terkenal dengan rintangan suhu tinggi yang luar biasa dan lengai kimia, terutamanya dalam proses silikon karbida (SiC) epitaksi(EPI). Dengan ciri-ciri yang luar biasa dan prestasi unggul, TaC Coating Chuck kami menawarkan beberapa kelebihan utama. Kami komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif dan berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar Pertanyaan