Semikonduktor VeTek ialah pengeluar terkemuka bahan Salutan Tantalum Carbide untuk industri semikonduktor. Tawaran produk utama kami termasuk bahagian salutan tantalum karbida CVD, bahagian salutan TaC tersinter untuk pertumbuhan kristal SiC atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor mempunyai kawalan yang baik terhadap kualiti. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Salutan Karbida Tantalum melalui penyelidikan dan pembangunan teknologi lelaran yang berterusan.
Produk utama ialahCincin pembelot salutan Tantalum Carbide, cincin lencongan bersalut TaC, bahagian halfmoon bersalut TaC, Cakera Putaran Planet Bersalut Tantalum Carbide (Aixtron G10) , Crucible Bersalut TaC; Cincin Bersalut TaC; Grafit Berliang Bersalut TaC; Susceptor Grafit Salutan Tantalum Carbide; Cincin Panduan Bersalut TaC; Plat Bersalut TaC Tantalum Carbide; Susceptor Wafer Bersalut TaC; Cincin Salutan TaC; Penutup Grafit Salutan TaC; Ketulan Bersalut TaCdan lain-lain, ketulenan di bawah 5ppm, boleh memenuhi keperluan pelanggan.
Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari. Kelebihan ditunjukkan dalam gambar di bawah:
Salutan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian kerana takat leburnya yang tinggi sehingga 3880°C, kekuatan mekanikal yang sangat baik, kekerasan, dan rintangan kepada kejutan haba, menjadikannya alternatif yang menarik kepada proses epitaksi semikonduktor kompaun dengan keperluan suhu yang lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ia juga mempunyai aplikasi yang luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC kaedah PVT.
●Kestabilan suhu
●Ketulenan ultra tinggi
●Rintangan kepada H2, NH3, SiH4, Si
●Rintangan kepada stok haba
●Lekatan yang kuat pada grafit
●Liputan salutan selaras
● Saiz sehingga 750 mm diameter (Satu-satunya pengeluar di China mencapai saiz ini)
● Suseptor pemanasan induktif
● Elemen pemanasan rintangan
● Perisai haba
Sifat fizikal salutan TaC | |
Ketumpatan | 14.3 (g/cm³) |
Pemancaran khusus | 0.3 |
Pekali pengembangan terma | 6.3 10-6/K |
Kekerasan (HK) | 2000 HK |
Rintangan | 1×10-5Ohm*cm |
Kestabilan terma | <2500 ℃ |
Perubahan saiz grafit | -10~-20um |
Ketebalan salutan | ≥20um nilai biasa (35um±10um) |
unsur | Peratus atom | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Purata | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor ialah pengilang profesional TaC Coating Plate dan alat ganti TaC Coating lain di China. Salutan TaC pada masa ini digunakan terutamanya dalam proses seperti pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida (kaedah PVT), cakera epitaxial (termasuk epitaksi silikon karbida, epitaksi LED), dll. Digabungkan dengan kestabilan jangka panjang yang baik bagi Plat Salutan TaC, TaC Semikonduktor VeTek Plat Coating telah menjadi penanda aras untuk alat ganti TaC Coating. Kami berharap anda menjadi rakan kongsi jangka panjang kami.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah pengilang profesional GaN pada susceptor epi SiC, salutan SiC CVD dan susceptor grafit COATING CVD TAC di China. Antaranya, GaN pada susceptor epi SiC memainkan peranan penting dalam pemprosesan semikonduktor. Melalui kekonduksian haba yang sangat baik, keupayaan pemprosesan suhu tinggi dan kestabilan kimia, ia memastikan kecekapan tinggi dan kualiti bahan proses pertumbuhan epitaxial GaN. Kami amat mengharapkan perundingan anda selanjutnya.
Baca LagiHantar PertanyaanPembawa Salutan TaC CVD Semikonduktor VeTek direka terutamanya untuk proses epitaxial pembuatan semikonduktor. Takat lebur Ultra-tinggi pembawa Salutan CVD TaC, rintangan kakisan yang sangat baik, dan kestabilan terma yang luar biasa menentukan keperluan produk ini dalam proses epitaxial semikonduktor. kami amat berharap untuk membina hubungan perniagaan jangka panjang dengan anda.
Baca LagiHantar PertanyaanCincin Panduan Salutan TaC Semikonduktor VeTek dicipta dengan menggunakan salutan tantalum karbida pada bahagian grafit menggunakan teknik canggih yang dipanggil pemendapan wap kimia (CVD). Kaedah ini sudah mantap dan menawarkan sifat salutan yang luar biasa. Dengan menggunakan Cincin Panduan Salutan TaC, jangka hayat komponen grafit boleh dilanjutkan dengan ketara, pergerakan bendasing grafit boleh ditindas, dan kualiti kristal tunggal SiC dan AIN boleh dikekalkan dengan pasti. Selamat datang untuk menyiasat kami.
Baca LagiHantar PertanyaanSusceptor Grafit Bersalut TaC Semiconductor menggunakan kaedah pemendapan wap kimia (CVD) untuk menyediakan salutan tantalum karbida pada permukaan bahagian grafit. Proses ini adalah yang paling matang dan mempunyai sifat salutan terbaik. Susceptor Grafit Bersalut TaC boleh memanjangkan hayat perkhidmatan komponen grafit, menghalang penghijrahan kekotoran grafit, dan memastikan kualiti epitaksi. VeTek Semiconductor menantikan pertanyaan anda.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor mempersembahkan Susceptor Coating TaC, Dengan salutan TaC yang luar biasa, susceptor ini menawarkan pelbagai kelebihan yang membezakannya daripada penyelesaian konvensional. Mengintegrasikan dengan lancar ke dalam sistem sedia ada, Susceptor Coating TaC dari VeTek Semiconductor menjamin keserasian dan operasi yang cekap. Prestasi yang boleh dipercayai dan salutan TaC berkualiti tinggi secara konsisten memberikan hasil yang luar biasa dalam proses epitaksi SiC. Kami komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif dan berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar Pertanyaan