Semikonduktor VeTek ialah pengeluar terkemuka bahan Salutan Tantalum Carbide untuk industri semikonduktor. Tawaran produk utama kami termasuk bahagian salutan tantalum karbida CVD, bahagian salutan TaC tersinter untuk pertumbuhan kristal SiC atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor mempunyai kawalan yang baik terhadap kualiti. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Salutan Karbida Tantalum melalui penyelidikan dan pembangunan teknologi lelaran yang berterusan.
Produk utama ialahCincin pembelot salutan Tantalum Carbide, cincin lencongan bersalut TaC, bahagian halfmoon bersalut TaC, Cakera Putaran Planet Bersalut Tantalum Carbide (Aixtron G10) , Crucible Bersalut TaC; Cincin Bersalut TaC; Grafit Berliang Bersalut TaC; Susceptor Grafit Salutan Tantalum Carbide; Cincin Panduan Bersalut TaC; Plat Bersalut TaC Tantalum Carbide; Susceptor Wafer Bersalut TaC; Cincin Salutan TaC; Penutup Grafit Salutan TaC; Ketulan Bersalut TaCdan lain-lain, ketulenan di bawah 5ppm, boleh memenuhi keperluan pelanggan.
Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari. Kelebihan ditunjukkan dalam gambar di bawah:
Salutan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian kerana takat leburnya yang tinggi sehingga 3880°C, kekuatan mekanikal yang sangat baik, kekerasan, dan rintangan kepada kejutan haba, menjadikannya alternatif yang menarik kepada proses epitaksi semikonduktor kompaun dengan keperluan suhu yang lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ia juga mempunyai aplikasi yang luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC kaedah PVT.
●Kestabilan suhu
●Ketulenan ultra tinggi
●Rintangan kepada H2, NH3, SiH4, Si
●Rintangan kepada stok haba
●Lekatan yang kuat pada grafit
●Liputan salutan selaras
● Saiz sehingga 750 mm diameter (Satu-satunya pengeluar di China mencapai saiz ini)
● Suseptor pemanasan induktif
● Elemen pemanasan rintangan
● Perisai haba
Sifat fizikal salutan TaC | |
Ketumpatan | 14.3 (g/cm³) |
Pemancaran khusus | 0.3 |
Pekali pengembangan terma | 6.3 10-6/K |
Kekerasan (HK) | 2000 HK |
Rintangan | 1×10-5Ohm*cm |
Kestabilan terma | <2500 ℃ |
Perubahan saiz grafit | -10~-20um |
Ketebalan salutan | ≥20um nilai biasa (35um±10um) |
unsur | Peratus atom | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Purata | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Sebagai inovator profesional dan peneraju produk Cincin Bersalut Tantalum Carbide di China, Cincin Bersalut Tantalum Carbide semikonduktor VeTek memainkan peranan yang tidak boleh ditukar ganti dalam pertumbuhan kristal SiC dengan rintangan suhu tinggi yang sangat baik, rintangan haus dan kekonduksian terma yang sangat baik. Mengalu-alukan perundingan lanjut anda.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah pengilang profesional dan peneraju produk Porous Tantalum Carbide di China. Tantalum Carbide berliang biasanya dihasilkan melalui kaedah pemendapan wap kimia (CVD), memastikan kawalan tepat ke atas saiz dan pengedaran liangnya, dan merupakan alat bahan khusus untuk persekitaran ekstrem suhu tinggi. Mengalu-alukan perundingan lanjut anda.
Baca LagiHantar PertanyaanSebagai pengilang termaju dan pengeluar produk Tantalum Carbide Ring di China, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Ring mempunyai kekerasan yang sangat tinggi, rintangan haus, rintangan suhu tinggi dan kestabilan kimia, dan digunakan secara meluas dalam bidang pembuatan semikonduktor. Terutamanya dalam CVD, PVD, proses implantasi ion, proses etsa, dan pemprosesan dan pengangkutan wafer, ia merupakan produk yang sangat diperlukan untuk pemprosesan dan pembuatan semikonduktor. Mengharapkan perundingan anda selanjutnya.
Baca LagiHantar PertanyaanSebagai pengilang dan kilang produk Sokongan Salutan Tantalum Carbide profesional di China, Sokongan Salutan Tantalum Carbide VeTek Semiconductor biasanya digunakan untuk salutan permukaan komponen struktur atau komponen sokongan dalam peralatan semikonduktor, terutamanya untuk perlindungan permukaan komponen peralatan utama dalam proses pembuatan semikonduktor seperti CVD dan PVD. Mengalu-alukan perundingan lanjut anda.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah pengilang profesional dan peneraju produk Tantalum Carbide Guide Ring di China. Cincin Panduan Tantalum Carbide (TaC) kami ialah komponen cincin berprestasi tinggi yang diperbuat daripada tantalum karbida, yang biasanya digunakan dalam peralatan pemprosesan semikonduktor, terutamanya dalam persekitaran suhu tinggi dan sangat menghakis seperti CVD, PVD, etsa dan resapan. VeTek Semiconductor komited untuk menyediakan teknologi canggih dan penyelesaian produk untuk industri semikonduktor, dan mengalu-alukan pertanyaan lanjut anda.
Baca LagiHantar PertanyaanSebagai pengilang profesional, inovator dan peneraju produk TaC Coating Rotation Susceptor di China. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor biasanya dipasang dalam pemendapan wap kimia (CVD) dan peralatan epitaksi rasuk molekul (MBE) untuk menyokong dan memutar wafer untuk memastikan pemendapan bahan seragam dan tindak balas yang cekap. Ia adalah komponen utama dalam pemprosesan semikonduktor. Mengalu-alukan perundingan lanjut anda.
Baca LagiHantar Pertanyaan